超聲加工技術(shù)的起源可追溯至20世紀(jì)初。1927年,美國物理學(xué)家伍德(R. W. Wood)與盧米斯(A. L. Loomis)首次通過高頻超聲振動實(shí)現(xiàn)了玻璃板的雕刻與快速鉆孔,這項(xiàng)開創(chuàng)性實(shí)驗(yàn)雖未實(shí)現(xiàn)工業(yè)應(yīng)用,卻為超聲加工技術(shù)埋下重要伏筆。直至1940年"超聲加工"這一專業(yè)術(shù)語正式見諸文獻(xiàn),相關(guān)工藝技術(shù)描述才引發(fā)學(xué)術(shù)界廣泛關(guān)注,開啟了該技術(shù)在工業(yè)領(lǐng)域的應(yīng)用探索。1957年,美國工程師A.S.科恩成功研制首臺實(shí)用型超聲加工機(jī),標(biāo)志著超聲加工技術(shù)正式邁入工程化應(yīng)用階段。